Reliability of thin ZrO2 gate dielectric layers

Microelectronics Reliability 2011 Vol. 51; Iss. 6

Reliability of thin ZrO2 gate dielectric layers

Robert O’Connor, Greg Hughes, Thomas Kauerauf, Lars-Ake Ragnarsson
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
51
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.microrel.2011.02.006
Fichier:
PDF, 471 KB
english, 2011
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué