Thermal characterization of materials for double patterning
S. Derrough, A. Pikon, C. Sourd, I. Guérin, J. Simon, S. Gaugiran, T. Cardolaccia, Y. Liu, P. Trefonas, G. Barclay, Y.C. BaeVolume:
87
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.mee.2009.11.117
Fichier:
PDF, 521 KB
english, 2010