Degradation and surfactant-aided regeneration of...

Microelectronic Engineering 2010 Vol. 87; Iss. 5-8

Degradation and surfactant-aided regeneration of fluorinated anti-sticking mold treatments in UV nanoimprint lithography

M. Zelsmann, C. Alleaume, D. Truffier-Boutry, A. Francone, A. Beaurain, B. Pelissier, J. Boussey
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Volume:
87
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.mee.2009.11.100
Fichier:
PDF, 377 KB
english, 2010
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