Rapid injection molding of high-aspect-ratio nanostructures

Microelectronic Engineering 2010 Vol. 87; Iss. 5-8

Rapid injection molding of high-aspect-ratio nanostructures

Shuntaro Hattori, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
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Volume:
87
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.mee.2009.11.028
Fichier:
PDF, 436 KB
english, 2010
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