Determination of local electrostatic forces for EUVL mask...

Microelectronic Engineering 2010 Vol. 87; Iss. 5-8

Determination of local electrostatic forces for EUVL mask chucks

Gerhard Kalkowski, Thomas Peschel, Stefan Risse, Sandra Müller, Roxann L. Engelstad, Jacob R. Zeuske, Pradeep Vukkadala
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Volume:
87
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
3
DOI:
10.1016/j.mee.2009.10.010
Fichier:
PDF, 1.11 MB
english, 2010
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