Thinned wafer multi-stack 3DI technology
Takayuki Ohba, Nobuhide Maeda, Hideki Kitada, Koji Fujimoto, Kousuke Suzuki, Tomoji Nakamura, Akihito Kawai, Kazuhisa AraiVolume:
87
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/j.mee.2009.07.006
Fichier:
PDF, 739 KB
english, 2010