Effect of fluorine contamination on barrier metal oxidation

Microelectronic Engineering 2010 Vol. 87; Iss. 3

Effect of fluorine contamination on barrier metal oxidation

S. Ozaki, Y. Nakata, Y. Kobayashi, T. Nakamura, Y. Iba, S. Fukuyama, H. Watatani, Y. Ohkura
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Volume:
87
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
3
DOI:
10.1016/j.mee.2009.06.011
Fichier:
PDF, 461 KB
english, 2010
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