Optical proximity correction for a versatile LCD based...

Optical proximity correction for a versatile LCD based direct write maskless photoplotter

M.V. Kessels, K. Heggarty
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Volume:
86
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1016/j.mee.2009.04.026
Fichier:
PDF, 518 KB
english, 2009
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