Resist thickness effects on ultra thin HSQ patterning...

Microelectronic Engineering 2009 Vol. 86; Iss. 4-6

Resist thickness effects on ultra thin HSQ patterning capabilities

V. Sidorkin, A. Grigorescu, H. Salemink, E. van der Drift
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
86
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
3
DOI:
10.1016/j.mee.2008.12.071
Fichier:
PDF, 363 KB
english, 2009
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué