Focused ion beam lithography for two dimensional array...

Microelectronic Engineering 2005 Vol. 78-79; Iss. none

Focused ion beam lithography for two dimensional array structures for photonic applications

S. Cabrini, A. Carpentiero, R. Kumar, L. Businaro, P. Candeloro, M. Prasciolu, A. Gosparini, C. Andreani, M. De Vittorio, T. Stomeo, E. Di Fabrizio
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Volume:
78-79
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.mee.2004.12.006
Fichier:
PDF, 274 KB
english, 2005
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