Modeling and analysis of a 3-DOF Lorentz-force-driven...

Mechatronics 2010 Vol. 20; Iss. 5

Modeling and analysis of a 3-DOF Lorentz-force-driven planar motion stage for nanopositioning

Jin Lei, Xin Luo, Xuedong Chen, Tianhong Yan
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Volume:
20
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
13
DOI:
10.1016/j.mechatronics.2010.05.001
Fichier:
PDF, 2.46 MB
english, 2010
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