A novel MEMS inertial sensor with enhanced sensing...

Journal of Semiconductors 2009 / 05 Vol. 30; Iss. 5

A novel MEMS inertial sensor with enhanced sensing capacitors

Linxi, Dong, Haixia, Yan, Weihong, Huo, Li, Xu, Yongjie, Li, Lingling, Sun
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Volume:
30
Langue:
english
Journal:
Journal of Semiconductors
DOI:
10.1088/1674-4926/30/5/054003
Date:
May, 2009
Fichier:
PDF, 459 KB
english, 2009
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