Micromachined rectangular-spiral-coil actuator for...

Sensors and Actuators A: Physical 2015 / 05 Vol. 226

Micromachined rectangular-spiral-coil actuator for radio-controlled cantilever-like actuation

Fong, Jeffrey, Xiao, Zhiming, Takahata, Kenichi
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Volume:
226
Langue:
english
Journal:
Sensors and Actuators A: Physical
DOI:
10.1016/j.sna.2015.02.024
Date:
May, 2015
Fichier:
PDF, 7.45 MB
english, 2015
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