Self-Separation of Sublimation-Grown AlN with AlSiN Buffer...

Japanese Journal of Applied Physics 2013 / 08 Vol. 52; Iss. 8S

Self-Separation of Sublimation-Grown AlN with AlSiN Buffer Layer

Nishino, Katsushi, Nakauchi, Jun, Hayashi, Kotaro, Tsukihara, Masashi
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Volume:
52
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.7567/jjap.52.08ja07
Date:
August, 2013
Fichier:
PDF, 434 KB
english, 2013
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