Dual species ion implantation in GaAs

Radiation Effects 1980 / 01 Vol. 48; Iss. 1-4

Dual species ion implantation in GaAs

Inada, Taroh, Kato, Shigeki, Ohkubo, Tatsuya, Hara, Tohru
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Volume:
48
Langue:
english
Journal:
Radiation Effects
DOI:
10.1080/00337578008209235
Date:
January, 1980
Fichier:
PDF, 403 KB
english, 1980
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