Wideband Mechanical Excitation by a Microcorona-Driven...

Journal of Microelectromechanical Systems 2015 / 2 Vol. 24; Iss. 1

Wideband Mechanical Excitation by a Microcorona-Driven Vibrating Element

Chua, Beelee, Logeeswaran, V. J., Chan, Mei-Lin, Park, Hyunkyu, Horsley, David A., Tien, Norman C.
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Volume:
24
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2014.2328615
Date:
February, 2015
Fichier:
PDF, 1.93 MB
english, 2015
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