Development of a small ultraprecision positioning device...

Measurement Science and Technology 2005 / 11 Vol. 16; Iss. 11

Development of a small ultraprecision positioning device with 5 nm resolution

Otsuka, Jiro, Ichikawa, Soji, Masuda, Tomio, Suzuki, Kazuhiro
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
16
Langue:
english
Journal:
Measurement Science and Technology
DOI:
10.1088/0957-0233/16/11/008
Date:
November, 2005
Fichier:
PDF, 229 KB
english, 2005
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué