Vapour pressure measurement of metal organic precursors...

The Journal of Chemical Thermodynamics 2006 Vol. 38; Iss. 3

Vapour pressure measurement of metal organic precursors used for MOVPE

M. Fulem, K. Růžička, V. Růžička, T. Šimeček, E. Hulicius, J. Pangrác
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Volume:
38
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
11
DOI:
10.1016/j.jct.2005.05.018
Fichier:
PDF, 265 KB
english, 2006
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