Vapor pressure of germanium precursors

Journal of Crystal Growth 2008 Vol. 310; Iss. 23

Vapor pressure of germanium precursors

J. Pangrác, M. Fulem, E. Hulicius, K. Melichar, T. Šimeček, K. Růžička, P. Morávek, V. Růžička, S.A. Rushworth
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Volume:
310
Année:
2008
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.jcrysgro.2008.06.063
Fichier:
PDF, 178 KB
english, 2008
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