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Nanoscale characterization of different stiction mechanisms...

Journal of Colloid and Interface Science 2011 Vol. 358; Iss. 1

Nanoscale characterization of different stiction mechanisms in electrostatically driven MEMS devices based on adhesion and friction measurements

U. Zaghloul, B. Bhushan, P. Pons, G.J. Papaioannou, F. Coccetti, R. Plana
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Volume:
358
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
13
DOI:
10.1016/j.jcis.2011.03.005
Fichier:
PDF, 1.43 MB
english, 2011
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