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Mode-Localized Displacement Sensing

Journal of Microelectromechanical Systems 2012 / 10 Vol. 21; Iss. 5

Mode-Localized Displacement Sensing

Thiruvenkatanathan, P., Seshia, A. A.
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Volume:
21
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2012.2198047
Date:
October, 2012
Fichier:
PDF, 355 KB
english, 2012
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