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[IEEE IEEE International Solid-State Sensors and Actuators Conference - Boston, MA, USA (8-12 June 2003)] TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers (Cat. No.03TH8664) - Thin film encapsulation of acceleration sensors using polysilicon sacrificial layers

Stahl, H., Hoechst, A., Fischer, F., Metzger, L., Reichenbach, R., Laermer, F., Kronmueller, S., Breitschwerdt, K., Gunn, R., Watcham, S., Rusu, C., Witvrouw, A.
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Volume:
2
Année:
2003
Langue:
english
DOI:
10.1109/sensor.2003.1217162
Fichier:
PDF, 567 KB
english, 2003
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