Laser-induced backside wet etching of silica glass with...

Journal of Physics Conference Series 2007 / 04 Vol. 59

Laser-induced backside wet etching of silica glass with ns-pulsed DPSS UV laser at the repetition rate of 40 kHz

Niino, Hiroyuki, Kawaguchi, Yoshizo, Sato, Tadatake, Narazaki, Aiko, Gumpenberger, Thomas, Kurosaki, Ryozo
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Volume:
59
Langue:
english
Journal:
Journal of Physics: Conference Series
DOI:
10.1088/1742-6596/59/1/115
Date:
April, 2007
Fichier:
PDF, 916 KB
english, 2007
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