A Low-Power-Consumption Out-of-Plane Electrothermal...

Journal of Microelectromechanical Systems 2007 / 06 Vol. 16; Iss. 3

A Low-Power-Consumption Out-of-Plane Electrothermal Actuator

Girbau, David, Llamas, Marco Antonio, Casals-Terre, Jasmina, Simo-Selvas, Xavier, Pradell, LluÍs, Lazaro, Antonio
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Volume:
16
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2007.896714
Date:
June, 2007
Fichier:
PDF, 945 KB
english, 2007
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