Crystallographic orientation engineering in...

Applied Physics Letters 2010 Vol. 96; Iss. 26

Crystallographic orientation engineering in silicon-on-insulator substrates

Signamarcheix, T., Biasse, B., Papon, A.-M., Nolot, E., Mazen, F., Leveneur, J., Faynot, O., Clavelier, L., Ghyselen, B.
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Volume:
96
Année:
2010
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.3459966
Fichier:
PDF, 903 KB
english, 2010
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