Characterization of thin, doped silicon single crystals by...

Characterization of thin, doped silicon single crystals by x-ray diffraction

Joksch, Stefan, Graeff, Walter, Zaumseil, Peter, Winter, Ulrich, Csepregi, Laszlo, Iberl, Franz, Freund, Andreas K.
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Volume:
72
Année:
1992
Langue:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.352146
Fichier:
PDF, 1.08 MB
english, 1992
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