Stroboscopic Imaging Interferometer for MEMS Performance...

Journal of Microelectromechanical Systems 2007 / 06 Vol. 16; Iss. 3

Stroboscopic Imaging Interferometer for MEMS Performance Measurement

Conway, Josh A., Osborn, Jon V., Fowler, Jesse David
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Volume:
16
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2007.896710
Date:
June, 2007
Fichier:
PDF, 1.06 MB
english, 2007
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