Room temperature synthesis of porous SiO[sub 2] thin films...

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 2004 Vol. 22; Iss. 4

Room temperature synthesis of porous SiO[sub 2] thin films by plasma enhanced chemical vapor deposition

Barranco, A., Cotrino, J., Yubero, F., Espinós, J. P., González-Elipe, A. R.
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Volume:
22
Année:
2004
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
DOI:
10.1116/1.1761072
Fichier:
PDF, 1.03 MB
english, 2004
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