Effects of ion implantation on electron centers in...

Journal of Applied Physics 2003 Vol. 93; Iss. 10

Effects of ion implantation on electron centers in hydrogenated amorphous carbon films

Konchits, A. A., Valakh, M. Ya., Shanina, B. D., Kolesnik, S. P., Yanchuk, I. B., Carey, J. D., Silva, S. R. P.
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Volume:
93
Année:
2003
Langue:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.1564280
Fichier:
PDF, 356 KB
english, 2003
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