Extreme ultraviolet holographic lithography: Initial...

Applied Physics Letters 2007 Vol. 90; Iss. 2

Extreme ultraviolet holographic lithography: Initial results

Cheng, Yang-Chun, Isoyan, Artak, Wallace, John, Khan, Mumit, Cerrina, Franco
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Volume:
90
Année:
2007
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.2430774
Fichier:
PDF, 507 KB
english, 2007
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