Thermal reaction of polycrystalline SiC with XeF[sub 2]

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 2005 Vol. 23; Iss. 6

Thermal reaction of polycrystalline SiC with XeF[sub 2]

Watanabe, Morimichi, Mori, Yukimasa, Sakai, Hiroaki, Iida, Takashi, Koide, Shunsuke, Maeta, Eri, Sawabe, Kyoichi, Shobatake, Kosuke
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Volume:
23
Année:
2005
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
DOI:
10.1116/1.2110387
Fichier:
PDF, 659 KB
english, 2005
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