Hydrogen effects in hydrofluorocarbon plasma etching of silicon nitride: Beam study with CF+, CF[sub 2][sup +], CHF[sub 2][sup +], and CH2F+ ions

Dans 1-5 minutes, le fichier sera delivré à votre compte Telegram.

Note : Assurez-vous que vous avez lié votre compte au bot Telegram de Z-Library.

Dans 1-5 minutes, le fichier sera delivré à votre appareil Kindle.

Remarque: vous devez valider chaque livre avant de l'envoyer à Kindle. Veuillez vérifier votre messagerie pour voir le mail avec la confirmation par Amazon Kindle Support.