Sub-target effect in film analysis using TEA CO2...

Current Applied Physics 2007 Vol. 7; Iss. 5

Sub-target effect in film analysis using TEA CO2 laser-induced plasma

Yong-Inn Lee, Nasrullah Idris, Koo Hendrik Kurniawan, Tjung Jie Lie, Kenichiro Tsuyuki, Satoru Miura, Kiichiro Kagawa
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Volume:
7
Année:
2007
Langue:
english
Pages:
7
Journal:
Current Applied Physics
DOI:
10.1016/j.cap.2006.11.035
Fichier:
PDF, 1011 KB
english, 2007
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