Performance summary on a high power dense plasma focus...

Review of Scientific Instruments 2004 / 08 Vol. 75; Iss. 8

Performance summary on a high power dense plasma focus x-ray lithography point source producing 70 nm line features in AlGaAs microcircuits

Petr, Rodney, Bykanov, Alexander, Freshman, Jay, Reilly, Dennis, Mangano, Joseph, Roche, Maureen, Dickenson, Jason, Burte, Mitchell, Heaton, John
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Volume:
75
Langue:
english
Journal:
Review of Scientific Instruments
DOI:
10.1063/1.1771502
Date:
August, 2004
Fichier:
PDF, 1012 KB
english, 2004
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