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Effect of transverse current injection during air annealing...

Effect of transverse current injection during air annealing on the formation of oxides in thin Ti films

Parkansky, N., Alterkop, B., Goldsmith, S., Boxman, R. L., Rosenberg, Yu.
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Volume:
85
Année:
1999
Langue:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.369478
Fichier:
PDF, 323 KB
english, 1999
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