Rapid photoreflectance spectroscopy for strained silicon...

Review of Scientific Instruments 2008 Vol. 79; Iss. 10

Rapid photoreflectance spectroscopy for strained silicon metrology

Chouaib, H., Murtagh, M. E., Guènebaut, V., Ward, S., Kelly, P. V., Kennard, M., Le Vaillant, Y. M., Somekh, M. G., Pitter, M. C., Sharples, S. D.
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Volume:
79
Année:
2008
Langue:
english
Journal:
Review of Scientific Instruments
DOI:
10.1063/1.2999919
Fichier:
PDF, 512 KB
english, 2008
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