A low-power, micromachined, double spiral hotplate for MEMS...

Microsystem Technologies 2015 / 10 Vol. 21; Iss. 10

A low-power, micromachined, double spiral hotplate for MEMS gas sensors

Prasad, Mahanth, Khanna, Vinod Kumar
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Volume:
21
Langue:
english
Journal:
Microsystem Technologies
DOI:
10.1007/s00542-014-2393-3
Date:
October, 2015
Fichier:
PDF, 1.39 MB
english, 2015
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