Effects of showerhead hole structure on the deposition of...

Effects of showerhead hole structure on the deposition of hydrogenated microcrystalline silicon thin films by vhf PECVD

Wi, Sung-Suk, Kim, Yun-Gi, Lee, Ho-Jun, Kim, Daeil, Hwang, Doosup, Chang, Woo Sok
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
30
Année:
2012
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
DOI:
10.1116/1.4721287
Fichier:
PDF, 1.16 MB
english, 2012
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué