Vibrational spectroscopy characterization of magnetron...

Applied Surface Science 2009 Vol. 256; Iss. 1

Vibrational spectroscopy characterization of magnetron sputtered silicon oxide and silicon oxynitride films

V. Godinho, V.N. Denisov, B.N. Mavrin, N.N. Novikova, E.A. Vinogradov, V.A. Yakovlev, C. Fernández-Ramos, M.C. Jiménez de Haro, A. Fernández
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Volume:
256
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
9
DOI:
10.1016/j.apsusc.2009.07.101
Fichier:
PDF, 703 KB
english, 2009
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