Tungsten etching mechanisms in CF4/O2 reactive ion etching...

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Tungsten etching mechanisms in CF4/O2 reactive ion etching plasmas

T. D. Bestwick, G. S. Oehrlein
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Année:
1989
Langue:
english
DOI:
10.1063/1.343776
Fichier:
PDF, 832 KB
english, 1989
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