[IEEE 2014 International Symposium on Inertial Sensors and Systems (ISISS) - Laguna Beach, CA, USA (2014.02.25-2014.02.26)] 2014 International Symposium on Inertial Sensors and Systems (ISISS) - Wafer level hermetic encapsulation of MEMS inertial sensors using SOI cap wafers with vertical feedthroughs

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