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Dependence of residual damage on temperature during Ar+ sputter cleaning of silicon

J. C. Bean, G. E. Becker, P. M. Petroff, T. E. Seidel

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Année:

1977

Langue:

english

DOI:

10.1063/1.323706

Fichier:

PDF, 1.21 MB

english, 1977

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