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Low-temperature CVD of η-Mn3N2−x from...

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 2013 Vol. 31; Iss. 3

Low-temperature CVD of η-Mn3N2−x from bis[di(tert-butyl)amido]manganese(II) and ammonia

Spicer, Teresa S., Spicer, Charles W., Cloud, Andrew N., Davis, Luke M., Girolami, Gregory S., Abelson, John R.
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Volume:
31
Année:
2013
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
DOI:
10.1116/1.4799036
Fichier:
PDF, 1.12 MB
english, 2013
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