Chemical stability of Si[sup n+] species in SiO[sub x] (x

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 2001 Vol. 19; Iss. 1

Chemical stability of Si[sup n+] species in SiO[sub x] (x

Barranco, A., Mejı́as, J. A., Espinós, J. P., Caballero, A., González-Elipe, A. R., Yubero, F.
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
19
Année:
2001
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
DOI:
10.1116/1.1323972
Fichier:
PDF, 495 KB
english, 2001
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué