[IEEE 2009 16th IEEE International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits (IPFA) - Suzhou, Jiangsu, China (2009.07.6-2009.07.10)] 2009 16th IEEE International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits - Characteristics of a Local Oxidation of silicon multi-tie body polysilicon thin-film transistor

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