Piezoelectric micromachined microphones with out-of-plane...

Applied Physics Letters 2013 Vol. 103; Iss. 1

Piezoelectric micromachined microphones with out-of-plane directivity

Kim, Donghwan, Hewa-Kasakarage, Nishshanka N., Kuntzman, Michael L., Kirk, Karen D., Yoon, Sang H., Hall, Neal A.
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Volume:
103
Année:
2013
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.4812298
Fichier:
PDF, 1.46 MB
english, 2013
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