Strontium niobate high-k dielectrics: Film deposition and material properties
A. Hardy, S. Van Elshocht, C. Adelmann, J.A. Kittl, S. De Gendt, M. Heyns, J. D’Haen, M. D’Olieslaeger, M.K. Van Bael, H. Van den Rul, J. MullensVolume:
58
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
10
DOI:
10.1016/j.actamat.2009.09.006
Fichier:
PDF, 2.44 MB
english, 2010