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Roles of oxidizing species in a nonequilibrium...

Roles of oxidizing species in a nonequilibrium atmospheric-pressure pulsed remote O[sub 2]/N[sub 2] plasma glass cleaning process

Iwasaki, Masahiro, Matsudaira, Yuto, Takeda, Keigo, Ito, Masafumi, Miyamoto, Eiji, Yara, Takuya, Uehara, Tsuyoshi, Hori, Masaru
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Volume:
103
Année:
2008
Langue:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.2830982
Fichier:
PDF, 985 KB
english, 2008
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