Nanopatterning of Si(110) surface by ion sputtering: An...

Physical Review B 2005 / 4 Vol. 71; Iss. 15

Nanopatterning of Si(110) surface by ion sputtering: An experimental and simulation study

Ling, Li, Li, Wei-qing, Qi, Le-jun, Lu, Ming, Yang, Xinju, Gu, Chang-xin
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Volume:
71
Langue:
english
Journal:
Physical Review B
DOI:
10.1103/PhysRevB.71.155329
Date:
April, 2005
Fichier:
PDF, 871 KB
english, 2005
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