Elimination of AlGaN epilayer cracking by spatially...

Applied Physics Letters 2006 Vol. 88; Iss. 12

Elimination of AlGaN epilayer cracking by spatially patterned AlN mask

Sarzyński, Marcin, Kryśko, Marcin, Targowski, Grzegorz, Czernecki, Robert, Sarzyńska, Agnieszka, Libura, Adam, Krupczyński, Wiktor, Perlin, Piotr, Leszczyński, Michał
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Volume:
88
Année:
2006
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.2189788
Fichier:
PDF, 439 KB
english, 2006
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